| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2021-08-06 |
| タイトル |
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タイトル |
【論文】電子デバイス検査工程の除電装置の特性に及ぼす動作電圧の効果 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Effect of Operating Voltage on Performance of Air Ionizer Used in Inspection Processes for Electronic Devices |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Electronic devices |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Inspection processes |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Electrostatic hazards |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Air ionizer |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Operating voltage |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Electronic devices |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Inspection processes |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Electrostatic hazards |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Air ionizer |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Operating voltage |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
三井 , 修
鈴木, 誠也
岡野, 誠
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Corona discharge air ionizers have been used to neutralize the static electricity charged on the electronic devices in inspection process. The neutralization characteristics, that is the neutralizing current density (JW) and the electric field (EW) at work area depend on the operation conditions. The emitter voltage is one of the most important operating conditions of the corona discharge air ionizer. The effect of emitter voltage on the neutralization characteristics were investigated in a mini-environment in which laminar air flow of 0.3 m/s exists. The air ionizer was operated by a square-wave alternating voltage ranging from 12 to 18 kVPP. The neutralizing current density (JW) increased with increasing the emitter voltage. However, the electric field (EW) acting as a noise in inspection process also increased with increasing the emitter voltage. The ratio of neutralizing current to electric field (JW / EW) increased and showed saturation tendency with increasing the emitter voltage. |
| 書誌情報 |
技能科学研究 Vol37 No1
巻 37,
号 1,
p. 27-34,
発行日 2020-06
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
2434-3706 |
【論文】電子デバイス検査工程の除電装置の特性に及ぼす動作電圧の効果 (673.7 kB)
